PDF ダウンロード スケジュール 20 いいね! 0 コメント (0) 09:30 〜 09:45 [6a-A201-3] 電極形成後の熱処理によるW/SiO2/nSiC MOSキャパシタの電気特性 〇雷 一鳴1、金子 喬1、若林 整1、筒井 一生2、岩井 洋2、角嶋 邦之1、古橋 壮之3、友久 伸吾3、山川 聡3 (1.東工大工学院、2.東工大科学技術創成研究院、3.三菱電機株式会社) キーワード:SiC、TDMAS、PMA