[6a-A203-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [6a-A203-9] シクロオレフィンポリマー上に室温形成した酸化亜鉛薄膜トランジスタの曲げ劣化に関する一考察

〇永山 幸希¹、カルトシュタイン オリバー¹、松田 宗平¹、大浦 紀頼¹、小山 政俊¹、前元 利彦¹、佐々 誠彦¹ (1.大阪工大　ナノ材研)

キーワード：酸化亜鉛、フレキシブル、膜膜トランジスタ

近年、透明フレキシブルディスプレイなどの研究に注目が集まっている。我々は前回の応用物理学会においてフレキシブル基板上の酸化亜鉛薄膜の曲げによる抵抗変化と酸化亜鉛の表面観察について報告した。電極はAlを添加した酸化亜鉛(AZO)とチタンと金(Ti/Au)の２種類を用意し比較を行った。今回、前回の報告内容をさらに発展させ、フレキシブル基板上に作製したZnO-TFTの曲げ状態での特性評価を行ったのでその結果について報告する。