[6a-A204-1~10] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[6a-A204-5] Influence of laser scan velocity on film properties of liquid-phase-crystallized silicon fabricated by line-shaped laser

〇Hiroshi Umishio^1,2, Takuya Matsui¹, Hitoshi Sai¹, Takeaki Sakurai², Koji Matsubara¹ (1.AIST, 2.Tsukuba univ.)

Keywords:thin-film silicon solar cells, liquid phase crystallization, crystalline silicon thin-film

結晶シリコン太陽電池の材料コスト低減のため、アモルファスシリコン膜に対し高強度でライン状のレーザーを照射・掃引することにより瞬間溶融・固化し、高品質の薄膜多結晶シリコンを作製する液相結晶化法（Liquid Phase Crystallization：LPC）が提案されている。現状、レーザーの照射条件の変化に対する多結晶シリコンの膜特性の変化に関してはほとんど報告されていないため、ラインレーザーの掃引速度が多結晶シリコンの膜質に与える影響を調査した。