[6a-C13-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [6a-C13-12] 二光子吸収フォトダイオードアレイ付きSiフォトニクス導波路を用いた光相関計(IV) ---広帯域化と分解能向上

〇近藤 圭祐¹、馬場 俊彦² (1.東工大未来研、2.横国大院工)

キーワード：シリコン導波路、CMOS Siフォトニクス、光相関計