[6a-C16-1~9] 17.3 層状物質

△ [6a-C16-6] DCバイアス印加による高温スパッタMoS₂膜の硫黄欠損抑制

〇石原 聖也^1,3、日比野 祐介¹、澤本 直美¹、大橋 匠²、松浦 賢太朗²、若林 整²、小椋 厚志¹ (1.明治大、2.東工大、3.学振特別研究員)

キーワード：二硫化モリブデン