[6a-PA7-1~2] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [6a-PA7-1] Thermal nanoimprinting of periodic nanostructure on atomic stepped polymer subsrate using a self-assembly formed mold

〇Taichiro Kinoshita¹, Ken Iwasa¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Inst. of Tech. Materials, 2.KISTECH)

Keywords:thermal nanoimprint, oxide nanostructure, surface nanostructure

我々はこれまでに、高さ0.3 nmの原子ステップを持つ単結晶モールドを用いた熱ナノインプリント法により、非晶質材料表面に原子スケールパターンの転写を行ってきた。一方で、これまでのSiモールドに加えて、熱的・化学的に安定な酸化物、とくに自己組織化ナノ構造を用いることは、形状制御性の向上にも寄与できる。本研究では、自己組織化酸化物などをモールドとしたポリマー表面における微細構造の転写形成について検討した。