9:30 AM - 11:30 AM
△ [6a-PA7-2] Fabrication of periodic nanostructure of conductive thin films on atomically stepped flexible substrate by thermal nanoimprint technique.
Keywords:thermal nanoimprint, conductive thin film, periodic nanostructure
本研究では、フレキシブル基板を用いた電子・光学デバイスの要素技術の創成を目的として、超平坦ポリマー上の導電性薄膜に対する微細周期パターン形状の作製と導電特性に与える影響について検討した。