[6p-C19-1~8] Nanoscale 3D analyses for new device and materials development

[6p-C19-4] Nano-scale analysis by combination with FIBSEM

〇Jun Kato¹, Kosuke Kimura¹, Kosuke Kurushima¹, Yumiko Shimizu¹, Takanori Naijou¹, Mitsunobu Yasuda¹ (1.TRC)

Keywords:FIBSEM

高精度の断面加工と高分解能SEM観察を特徴とするFIB/SEM複合機を用いて、微小領域のサンプリングと各種観察・分析手法を組み合わせた評価事例や三次元解析事例を紹介し、評価方法の有効性や課題について議論する