[6p-C19-1~8] Nanoscale 3D analyses for new device and materials development

[6p-C19-5] Nanostructure Analysis by Laser Assisted Atom Probe Tomography

〇Tadakatsu Ohkubo¹, Kazuhiro Hono¹ (1.NIMS)

Keywords:atom probe

我々は、自作のレーザーアトムプローブに紫外光レーザーを導入し、各種材料、デバイスに応用してきた。その過程で、レーザー周波数・波長・強度、試料温度等の測定条件を最適化するとともに、実際に、高分解能STEM法などと組み合わせて、材料の組織の多面的な解析を行い、組織と特性の関係を理解するための研究を行っている。本講演では、この解析で重要になる点や応用事例を紹介する。