[6p-C19-1~8] 新デバイス・材料開発のためのナノスケール３次元分析（Ｉ）

[6p-C19-8] 新材料・新構造３Ｄ化デバイスにおけるナノスケール３Ｄ解析の
「ここまでできた」と「これができない」

〇田中 洋毅¹ (1.東芝　研開セ)

キーワード：半導体、透過電子顕微鏡、アトムプローブ