[6p-PA8-1~31] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[6p-PA8-25] 窒素ラジカル照射によるGaN MISFETの閾値電圧安定化

〇松村 英樹¹、Ferreyra Romualdo¹、鈴木 朝実良¹、上田 大助¹ (1.京工繊大)

キーワード：窒化ガリウム