[6p-S41-1~10] 7.5 Ion beams

[6p-S41-6] Effects of Liquid Cluster Ion Beam on Transition Metal Thin Films

〇Daiki Shimizu¹, Daisuke Yamamoto¹, Mitsuaki Takeuchi¹, Hiromichi Ryuto¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:cluster ion beam, transition metal thin film

近年、スピントロニクス分野において、遷移金属の高効率な加工技術が求められている。そこで、マグネトロンスパッタ法で作製した遷移金属薄膜に液体クラスターイオンビームを照射し、スパッタリング効果について調べた。クラスター材料は、エタノールやアセトンとした。その時の加速電圧は、3－9kVとした。液体クラスターイオンビームは、超音速自由噴流法を用いて生成したクラスターを電子イオン化することにより生成した。