PDF ダウンロード スケジュール 14 いいね！ 0 コメント (0) 10:00 〜 10:15 [7a-A201-5] ビニルシランを用いた熱CVDによるSiC薄膜の低温形成 〇土井 拓馬1、竹内 和歌奈1、金 勇2、國分 宏2、安原 重雄2、中塚 理1,3、財満 鎭明3 (1.名大院工、2.(株)ジャパン・アドバンスト・ケミカルズ、3.名大未来研) キーワード：半導体、SiC
