[7a-A201-1~8] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[7a-A201-6] オフ角Si(110)基板上に形成したAlN上へのSiC成長

〇奈良 友奎¹、成田 舜基¹、中澤 日出樹¹ (1.弘前大院理工)

キーワード：SiC、AlN