[7a-A402-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [7a-A402-8] 酸素プラズマを用いたDLC膜の除膜におけるバイアス電圧の影響

〇近藤 勇樹¹、藤田 至¹、出貝 敏¹、谷本 壮¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修²、羽田野 泰弘³、神谷 雅男⁴ (1.豊橋技術科学大学、2.オーエスジー、3.小島プレス、4.伊藤光学)

キーワード：アッシング、除膜、ダイヤモンドライクカーボン

機能性炭素膜であるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は工具や金型の保護膜として応用されている。コストや環境への配慮から使用済み工具や金型のDLC保護膜を除去し，母材を再利用しようという試みがある。そこで，本研究では低コストかつ環境負荷の小さな除膜方法として，酸素プラズマを用いたDLC膜の除膜を試み，除膜におけるバイアス電圧の影響を調べた。