[7a-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [7a-A413-6] 振幅変調によるマイクロ波プラズマの低速回転

〇(M2)堀田 将也¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、スーナム パーク²、ディマ ルボミルスキー²、小林 理²、菅井 秀郎³ (1.中部大工、2.アプライドマテリアルズ、3.名産研)

キーワード：マイクロ波プラズマ、振幅変調