2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2017年9月7日(木) 09:00 〜 12:30 C21 (C21)

野口 隆(琉球大)、佐道 泰造(九大)

11:15 〜 11:30

[7a-C21-9] フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化における残留熱応力解析

稗田 竜己1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)

キーワード:熱プラズマジェット、フレキシブルガラス