[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-9] フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化における残留熱応力解析

〇稗田 竜己¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：熱プラズマジェット、フレキシブルガラス