[7a-PB3-1~9] 13.5 デバイス／集積化技術

[7a-PB3-5] 分極ドメインの熱遷移を考慮した強誘電体FETのコンパクトモデル

〇浅井 栄大¹、福田 浩一¹、高橋 光恵¹、酒井 滋樹¹ (1.産総研)

キーワード：強誘電体型電界効果トランジスタ、コンパクトモデル、マルチドメイン構造

本研究ではFeFETの不揮発特性及びアナログ応答特性を再現するコンパクトモデルの開発を目指し、マルチドメイン構造とそのドメイン極性の熱遷移を考慮した新しいコンパクトモデルを考案した。本コンパクトモデルは、実験的に報告されている電圧パルス幅の対数に比例する特徴的な閾値の変化を良く再現する。