[7p-A202-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[7p-A202-12] SrTiO₃/LaTiO_x人工超格子構造の電気二重層トランジスタ特性

〇東條 尚志¹、吉松 公平¹、大友 明^1,2 (1.東工大物質理工学院、2.元素戦略)

キーワード：トランジスタ、超格子

SrTiO₃中の擬二次元電子ガスは，超伝導や強磁性など多彩な電子物性を示し，注目を集めている．本研究では，電気二重層トランジスタ（EDLT）による高密度の表面キャリア蓄積を薄膜の積層構造によって変調することを目的とし，SrTiO₃/LaTiO_x人工超格子構造をチャネルとするEDLTの作製を試みた．その結果，室温で良好なトランジスタ動作を確認したので報告する．