[7p-A204-1~14] 【CS.7】6.1 & 13.3 & 13.5 Code-sharing session

[7p-A204-2] Phase Stability of Orthorhombic Phase in HfO₂-ZrO₂ Epitaxial Thin Films

〇Takanori Kiguchi¹, Takahisa Shiraishi¹, Sujin Choi¹, Hiroshi Funakubo², Toyyohiko J. Konno¹ (1.Tohoku Univ., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:HfO2-ZrO2, orthorhombic, crystalline structure

イオンビームスパッタ法を利用した固相エピタキシー法により堆積したZr_0.5Hf_0.5O₂エピタキシャル薄膜に成功した。本研究では、Zr_0.5Hf_0.5O₂薄膜のについて、収差補正STEM観察とイメージシミュレーションにより、斜方晶相のドメイン構造、斜方晶相と単斜晶相の結晶構造の対応関係、斜方晶相の相安定性について検討した。