[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [7p-A402-11] マイクロ波励起大気圧プラズマを用いたZnO薄膜堆積法の検討

〇大野 常久¹、山田 涼輔¹、當摩 哲也¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹ (1.金沢大)

キーワード：プラズマ、酸化亜鉛、成膜

電子デバイスの製造には有機膜や無機膜の製膜工程があり、低コストかつ低温で製膜手法が求められている。我々は、マイクロ波励起大気圧プラズマジェット（MWAPPJ）とSol-gel法を組み合わせたZnO薄膜の製膜手法の開発を行っている。本研究では、MWAPPJと固体ターゲット材に塗布したZnO前駆体とを作用させることにより、薄膜堆積を行う手法を検討した。結果として、固定ターゲット材の積層枚数により堆積物の形状が変化することを確認した。