[7p-A402-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[7p-A402-2] Hによる変質層を用いたITOエッチレートの高精度制御

平田 瑛子¹、〇深沢 正永¹、長畑 和典¹、李 虎²、伊藤 智子²、唐橋 一浩²、浜口 智志²、辰巳 哲也¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ、2.阪大院工)

キーワード：エッチング、透明電極、透明導電膜