2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2017年9月7日(木) 15:00 〜 19:30 A402 (402+403)

井上 泰志(千葉工大)、大津 康徳(佐賀大)

19:15 〜 19:30

[7p-A402-23] 超音速パルスプラズマジェットの開発とシュリーレン法による流速測定

小笠原 大介1、川野 浩明1、宮原 秀一1、佐藤 千明2、沖野 晃俊1 (1.東工大未来研、2.東工大フロンティア研)

キーワード:表面処理