[7p-A402-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[7p-A402-4] フルオロカーボンプラズマとアルゴンプラズマによるSiO₂原子層エッチングの分子動力学シミュレーション

〇(M2)岡田 裕貴¹、磯部 倫郎¹、浜口 智志¹ (1.阪大工)

キーワード：SiO2エッチング、MDシミュレーション