[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[7p-A402-7] 対向タ－ゲット型反応性HPPSによるTiCN膜の作製

三島 俊彦¹、吉田 涼¹、〇中尾 節男²、東 欣吾³、木村 高志¹ (1.名工大、2.産総研、3.兵庫県立大)

キーワード：窒化チタン、対向ターゲット、反応性HPPS

TiNやTiCN膜は切削工具などの高硬度保護膜として優れた特性を持っており 産業分野で広く用いられている。本研究では、プラズマイオンプロセスによる密着性や膜質の改善を目的に、スパッタとCVDを組み合わせた方法ではなく、スパッタを主とした対向タ－ゲット型反応性HPPS（High Power Pulsed Sputtering）により作製した。