[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[7p-A402-8] 窒素中性粒子ビームによる窒化ガリウムの室温合成

〇岡田 健¹、今岡 享稔^2,3,4、山元 公寿^2,3,4、寒川 誠二^1,3,5 (1.東北大流体研、2.東工大化生研、3.JST-CREST、4.ERATO、5.東北大AIMR)

キーワード：窒化ガリウム、中性粒子ビーム