[7p-C11-1~21] 17.3 層状物質

[7p-C11-9] スパッタMoS₂膜上ALD-Al₂O₃膜の成長過程観察

〇谷川 晴紀¹、大橋 匠¹、松浦 賢太朗¹、清水 淳一¹、外山 真矢人¹、早川 直希¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：二硫化モリブデン、原子層堆積