[7p-C17-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [7p-C17-13] シンクロトロンX線トポグラフィーによるEFG成長β-Ga₂O₃単結晶中の欠陥の観察

〇桝谷 聡士¹、輿 公祥²、飯塚 和幸²、倉又 朗人²、上田 修³、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.ノベルクリスタル、3.金沢工大)

キーワード：酸化ガリウム、X線トポグラフィー

シンクロトロン光を用いてEFG成長したβ-Ga₂O₃ 単結晶のX線トポグラフィー観察を行った．成長したバルク結晶を(001), (010), (-201)面に切り出し，それぞれの面方位結晶を観察した．主に，[010]方向に沿った転位や転位列を観察し，コントラストの消滅実験からバーガーズベクトルを<010>と同定した．