[7p-C18-1~11] ＩＶ族系半導体の製膜と低温結晶化（固相結晶化を中心に）

[7p-C18-4] 位置制御固相結晶化によるSi TFTの高性能化

〇浅野 種正¹ (1.九大シス情)

キーワード：TFT、多結晶シリコン、金属ナノインプリント法

金属ナノインプリント法を用いた固相成長多結晶シリコン薄膜結晶粒の位置制御技術と疑似単結晶TFT技術への応用についてレビューする。