2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » IV族系半導体の製膜と低温結晶化(固相結晶化を中心に)

[7p-C18-1~11] IV族系半導体の製膜と低温結晶化(固相結晶化を中心に)

2017年9月7日(木) 13:30 〜 18:30 C18 (C18)

野口 隆(琉球大)、松尾 直人(兵庫県立大)、東 清一郎(広島大)

16:15 〜 16:45

[7p-C18-7] アモルファスGe薄膜の結晶化における安定相と準安定相の競合

仲村 龍介1 (1.阪府大工)

キーワード:アモルファスゲルマニウム、アモルファス構造、結晶化

スパッタリングで作製したa-Geを結晶化させると,安定なダイヤモンド立方構造の結晶相と準安定な六方晶構造の結晶相の出現が競合する.両者の出現は,アモルファマトリックス中の中距離構造レベルの“非平衡性”と関連することを報告している.透過型電子顕微鏡を用いた実験研究と分子動力学シミュレーションを交えたこれまでの研究結果を紹介し,今後の展望も併せて発表する