[7p-PA3-1~8] 8.1 プラズマ生成・制御

[7p-PA3-2] 薄膜材料ターゲット有効利用のための回転型マグネトロンスパッタ装置の設計

〇中村 優太朗¹、大津 康徳¹ (1.佐賀大工)

キーワード：プラズマ、スパッタリング