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[7p-PA3-4] キセノン・アルゴン混合比のレーザー維持プラズマ生成
条件への影響
キーワード:熱プラズマ、半導体レーザー
筆者らは1kWクラスの高出力半導体レーザーを用いてこれまでキセノンレーザー維持プラズマの生成に成功し,その特性を検証してきた.しかしながらキセノンは電離電圧が低くプラズマ生成の観点からは有用ではあるが,産業応用への用途してはコストがネックとなる.そこで本研究ではより安価であるアルゴンを混合させることでレーザー維持プラズマの生成条件がどのように変わるのかを実験的に検証したのでその結果を報告する.