[7p-PB2-1~9] 6.6 Probe Microscopy

[7p-PB2-9] Development of time-resolved scanning nonlinear dielectric microscopy and its application to the evaluation of localized defects

〇Yuji Yamagishi¹, Yasuo Cho¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:time-resolved microscopy, interface states, evaluation of defects

走査型プローブ顕微鏡を応用した時間分解物性計測は、ナノスケールの空間分解能で観察対象のダイナミクスの詳細な解析を可能にすると期待される。走査トンネル顕微鏡や静電気力顕微鏡、ケルビンプローブ原子間力顕微鏡を用いた時間分解計測法がこれまでに開発されているが、今回我々は静電容量変化を時間分解計測する顕微鏡（時間分解SNDM）を開発し、さらに半導体/絶縁膜界面に分布する欠陥準位の評価に応用したので報告する。