[7p-PB6-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[7p-PB6-6] DLTS法を用いたSiパワーデバイスのプロトン照射欠陥の評価 (2)

〇清井 明¹、湊 忠玄¹、中村 勝光¹ (1.三菱電機)

キーワード：シリコン、点欠陥