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[7p-PB7-47] マイクロマグネティックシミュレーションによる垂直20nm-MTJの周辺ダメージ解析
キーワード:マイクロマグネティックシミュレーション、ダメージ層、エネルギー障壁
垂直20nm-MTJの周辺劣化のエネルギー障壁(Δ)への影響をマイクロマグネティック・シミュレーションにストリング法を適用して調べた。Δは保持力(Hc)変化に対応して変化し、異方性磁界のみが劣化する場合に大きく減少するのに対して、飽和磁界のみが劣化する場合は、大きな変化がないことがわかった。実験で観察される微細MTJの保持力減少は、異方性磁界の減少に対応している可能性がある。