[7p-S22-1~14] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [7p-S22-11] ソース電極をショットキー接合としたノーマリーオフ型PSJの設計

〇(M1)小倉 昌也¹、安藤 悠人¹、宇佐美 茂佳¹、田中 敦之^2,3、出来 真斗²、本田 善央²、八木 修一⁶、河合 弘治⁶、天野 浩^2,4,5 (1.名大院工、2.IMaSS、3.NIMS、4.名大赤崎記念センター、5.名大 VBL、6.パウデック)

キーワード：GaN、PSJ