[7p-S43-1~17] 11.2 Thin and thick superconducting films, coated conductors and film crystal growth

[7p-S43-3] Effect of Deposition Parameters of PLD Method on Surface Diffusion Constant and Supersaturation of SmBCO Thin Films

〇Yusuke Ichino¹, Naoto Shimazaki¹, Yuji Tsuchiya¹, Yutaka Yoshida¹ (1.Nagoya University)

Keywords:REBCO superconductor, pulsed laser deposition, supersaturation

パルスレーザー蒸着(PLD)法などの気相法で成膜したREBCO膜の配向性やBMOの自己組織化には、拡散距離などの結晶成長パラメータが影響を与える。これらの結晶成長パラメータは、基板温度やレーザー繰り返し周波数などのPLD法の諸条件によって大きく変化する。また、過剰な過飽和条件下では臨界電流密度の阻害要因となるa軸配向粒が成長する問題点がある。本研究では、PLD法において成膜パラメータがREBCO薄膜の結晶成長パラメータに与える影響を明らかにするため、様々な条件下で作製したSmBCO薄膜の表面形態を詳細に観察し、結晶成長パラメータの評価を行った。