[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[8a-PB4-16] PFC凝縮層へのプラズマ照射によるa-C:F形成とPTFE表面改質

〇佐藤 哲也¹、山井 孝太¹、森川 恭兵¹、曽我 遥華¹、山本 千綾¹、山中 淳二¹、中川 清和¹ (1.山梨大工)

キーワード：ＰＴＦＥ、アモルファスカーボン、パーフルオロカーボン

PTFEの接着性向上のために、低温下で表面改質を行う方法について検討したので報告する。30Kに冷却したPTFE 基板上に、水素の直流放電を15分間行い、表面改質を行った。その後、c-C₄F₈を蒸着しながら、水素 の直流放電により生成した低速電子 およびHを同時照射することによりa-C:Fを成膜した。XPSおよびTEM観察から、a-C:FはPTFEと化学結合を形成し密着性が高いことがわかった。