[8p-A203-1~4] 革新デバイスを支えるIII-V族半導体の成長技術

[8p-A203-2] GaAsを用いた高感度テラヘルツバイオチップ開発に向けて

〇斗内 政吉¹ (1.阪大レーザー研)

キーワード：テラヘルツバイオチップ、GaAs

テラヘルツ分野では化合物半導体は、幅広い研究対象である。我々も、InGaAs1.5μm帯光スイッチ、InAsテラヘルツ光源、InPを用いた単原子層への分子吸着エネルギー計測システムなど様々なテラヘルツ応用と、テラヘルツ放射顕微鏡を用いたGaNウェファー評価などに取り組んできた。本稿では、著者がキラーアプリケーション開発で重要なカギを握ると考えているテラヘルツバイオチップの開発について紹介する。