[8p-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[8p-A411-3] 水素終端シリコンの表面再結合変化に与えるクリーンルーム雰囲気の影響
μ-PCDライフタイム測定からの観察

〇荒木 延恵^1,2、日髙 洋美¹、宮下 守也¹、鵜殿 治彦² (1.ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ、2.茨城大)

キーワード：シリコンウェーハ表面、経時変化