[8p-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[8p-A411-4] 繰り返し吸着脱離の挙動：相互作用の発生と緩和

〇周 一帆¹、羽深 等¹ (1.横国大院工)

キーワード：有機物、分子間相互作用、その場計測

幾つかの特徴的構造を有する有機物分子からなる多成分系においてシリコン表面有機物吸着・脱離挙動をその場観察した際に、気中濃度の相対的増減に対して表面吸着量と分子面積の和が非可逆的挙動を示し、これが分子間相互作用を表している可能性があることを報告[1]した。本報では、二成分系に絞り込み、メントンとフタル酸ジエチルの二成分系における相互作用を解析し、その詳細を報告する。