[8p-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[8p-A411-9] バッチ式湿式洗浄機内の循環流抑制方法

宮崎 賢都¹、〇松尾 美弥¹、奥山 将吾¹、羽深 等¹、後藤 昭広² (1.横国大院工、2.プレテック)

キーワード：ウエハ洗浄、水流、可視化観察

バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄機において、循環流による再汚染を抑制するために、洗浄槽全体とウエハ内部の水の動き[1-3]を設計することが重要である。本研究では、洗浄槽内の循環流を抑制する方法として、洗浄槽壁面の上端部に排出孔を設けたので詳細を報告する。