[8p-C18-1~8] 13.5 デバイス／集積化技術

[8p-C18-6] 酸化セリウムを用いたMIMキャパシタの電気特性評価

〇高久 淑考¹、宗田 伊理也¹、星井 拓也¹、若林 整¹、筒井 一生¹、岩井 洋²、角嶋 邦之¹ (1.東工大、2.東工大研究院)

キーワード：酸化セリウム、MIMキャパシタ