[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[8p-PA2-17] 個体識別のための埋め込みタグの研究

〇松村 大輔¹、山西 陽子¹、大河原 孝²、原本 悦和³ (1.九州大学工、2.（株）Boyle、3.産総研)

キーワード：MEMS

生体に対して低侵襲に導入でき、安価かつウェットな環境下でも長時間情報を保持できる個体識別用微細タグの開発を目標とした。本研究では磁性体を用いた磁気タグのプロトタイプを作製し、タグに着磁し、その磁束密度の計測を行った。