09:45 〜 10:00 △ [17a-315-4] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いて作製したタングステンカーバイド薄膜の膜質評価 〇磯野 凌1、針谷 達1、飯島 佑史1、須田 善行1、滝川 浩史1 (1.豊橋技科大)