12:00 〜 12:15 △ [15a-F201-12] パワーデバイス用GaNウエハの表面電位顕微鏡による評価(1) 〇内田 悠貴1、安野 光宏1、鈴木 達己1、内盛 瑞記1、山本 秀和1 (1.千葉工大工)