10:15 〜 10:30 △ [15a-502-6] アフターアークプラズマ型酸素負イオン照射装置における時間分解プローブ測定 〇北見 尚久1,2、野本 淳一2、酒見 俊之1、牧野 久雄2,3、青木 康1、山本 哲也2 (1.住友重機械、2.高知工科大総研、3.高知工科大システム工)