13:30 〜 15:30
〇(B)飯塚 知希1、山根 大輔1、小西 敏文2、伊藤 浩之1、石原 昇1、町田 克之1,2、益 一哉1 (1.東工大、2.NTT-AT)
飯塚 知希
発表者・著者、共著者
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールＢ)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールＢ)
13:30 〜 15:30
〇(B)飯塚 知希1、山根 大輔1、小西 敏文2、伊藤 浩之1、石原 昇1、町田 克之1,2、益 一哉1 (1.東工大、2.NTT-AT)