13:30 〜 15:30
〇名取 鼓太郎1、筒井 一生1、松下 智裕2、室 隆桂之2、星井 拓也1、角嶋 邦之1、若林 整1、林 好一3、松井 文彦4、森川 良忠5、下村 勝6、木下 豊彦2 (1.東工大、2.高輝度セ、3.名工大、4.奈良先端大、5.大阪大、6.静岡大)
名取 鼓太郎
発表者・著者、共著者
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールＢ)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術