10:45 〜 11:00 △ [16a-413-7] O3処理を施した原子層堆積Al2O3膜の電気伝導特性 〇(B)大久保 智1、松村 大輔1、平岩 篤2,4、川原田 洋1,2,3 (1.早大理工、2.早大ナノ・ライフ、3.早大材研、4.名大未来研)